我們將可調(diào)位移平臺和檢測物體位置的傳感器成為位移微傳感器。測量兩物體空間相對距離的傳感器也被視為可調(diào)位移平臺傳感器??烧{(diào)位移平臺傳感器可分為接觸式和非接觸式兩大類。接觸式可調(diào)位移平臺傳感器將傳導(dǎo)桿與被測體固定在一起,再將傳導(dǎo)桿的位置信號轉(zhuǎn)換成電信號。傳統(tǒng)的接觸式位移傳感器有電阻式、電感式、電容式、電磁式和光學(xué)式幾種。
不需要傳導(dǎo)桿而直接檢測目標(biāo)物位移的可調(diào)位移平臺傳感器成為非接觸式可調(diào)位移平臺傳感器。非接觸式可調(diào)位移平臺傳感器通常利用電感、電容或電磁技術(shù)、激光、遠(yuǎn)紅外、微波或超聲波技術(shù)進(jìn)行測距。在需要建立和維護(hù)位置偏置與容差的工程應(yīng)用中,可調(diào)位移平臺傳感器的使用十分廣泛。根據(jù)要求的不同,測量位移的范圍也相差很大,從需要用長波長微波器件測量公里級的位移,到短波長微波器件測量米級的位移,到常用的各種可調(diào)位移平臺傳感器測量的毫米級位移,以及用激光干涉法測量微米級位移,直到用x射線衍射干涉法測量亞納米級位移。
在日常生活中經(jīng)常用到可調(diào)位移平臺微傳感器,例如在交通信號燈和機(jī)器人上的監(jiān)測器,精確控制驅(qū)動器和驅(qū)動系統(tǒng)中用來測量驅(qū)動器或驅(qū)動桿位置的光學(xué)編碼器。它們在構(gòu)建信息化社會中起到了巨大的作用。
